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磷酸在蚀刻Si3N4而不是SiO2时具有高选择性。与INTEROX®过氧化氢和水结合使用，可用于蚀刻对InP具有选择性的铝和InGaAs。电子级磷酸在德国Bernburg生产。它专为满足电子行业的需求而定制，重点是半导体晶片制造中的湿法加工步骤。
-
CAS号
7664-38-2
-
全Q事业部
特殊化学
[123 ] - 同义词 H3PO4;正磷酸
| 化学类别 | 化学家族 | 化学产品 |
|---|---|---|
| 磷酸和盐 | 磷酸 |
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