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磷酸在蚀刻Si3N4而不是SiO2时具有高选择性。与INTEROX®过氧化氢和水结合使用,可用于蚀刻对InP具有选择性的铝和InGaAs。电子级磷酸在德国Bernburg生产。它专为满足电子行业的需求而定制,重点是半导体晶片制造中的湿法加工步骤。

  • CAS号

    7664-38-2

  • 全Q事业部

    特殊化学

    [123 ]
  • 同义词 H3PO4;正磷酸
  • [123 ] Phosphorus Specialties 磷酸和盐磷酸
    化学类别 化学家族 化学产品

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