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![索尔维蚀刻气体SIFREN® 46](/upload/2023/05/IMG_9102-scaled.jpg)
索尔维蚀刻气体SIFREN® 46
马上拨打电话021-59902198咨询索尔维蚀刻气体SIFREN® 46相关信息
Sifren®46(C4F6或六氟丁二烯)C4F6的GWP = 0,是关键应用中最先进的蚀刻气体。其低C / F比和不饱和度可实现蚀刻中最高的纵横比.Sifren®46(C4F6或Hexafluoro-1,3-butadiene)是一种具有交替双键的不饱和碳氟化合物。它是一种无色,无味,有毒,易燃的气体,在以氙(Xe)和氩(Ar)作为载体或稀释气体制造的半导体器件中,对等离子体,离子束或溅射蚀刻具有非常高的性能。由于大气寿命短(<1天),可忽略不计的 全Q变暖潜势,以及对平流层臭氧层的惰性,Sifren®46是环境友好型气体。
-
CAS编号
685-63-2
-
全Q事业部
特殊化学
[123 ] - 品牌SIFREN®46
- 别名 C4F6;六氟丁二烯
化学类别 | 化学家族 | 化学产品 |
---|---|---|
氟化学品 | 六氟丁二烯 |
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